17 “运送垃圾”（3 / 7）

nMembers），《美国气象学会公报》（BulletinAmericanMeteorologicalSociety），1962年12月12日。克莱顿·琼斯，《计算机化激光快速制造微芯片电路》（ComputerizedLaserSwiftlyCarvesCircuitsforMicrochips）。20世纪70年代末，珀金埃尔默公司的扫描式光刻机主导了光刻市场，但到了20世纪80年代，它被GCA公司取代。GCA公司由一位前空军军官领导。他后来成为地球物理学家，名叫米尔特·格林伯格（MiltGreenberg），他是一位雄心勃勃、固执、满嘴脏话的天才。第二次世界大战后，格林伯格和一位空军伙伴利用洛克菲勒兄弟的种子资金成立了GCA。作为一名军事气象学家，格林伯格利用自己对大气层的了解和与空军的联系，成为一名国防承包商，生产高空气球等装备，用于测量和拍摄苏联照片。

采访格里夫·里索，2021年。《格里夫·里索谈光刻》（GriffResoronPhotolithography），半导体历史，YouTube视频，2009年1月30日，https://www.youtube.com/watch?v=OKfdHZCEfmY。格林伯格的野心很快就变得更大了。半导体行业的增长表明，真正的资金来自大众市场，而不是特别的军事合同。格林伯格认为，其公司用于军事侦察的高科技光学系统可以用在制造民用芯片上。20世纪70年代，在GCA为芯片制造商宣传其产品的一次行业会议上，TI的张忠谋走到GCA展台前，开始查看GCA的设备，并询问设备是否可以一步一步地移动，从而逐个将硅片上的每个芯片曝光，而不是一次扫描整个晶圆。这样的“步进式光刻机”比当时已有的扫描式准确得多。虽然以前从来没有设计过步进式光刻机，但GCA的工程师相信，他们可以创造出一个，以提供更高分辨率的成像，从而造出更小的晶体管。

《格里夫·里索谈光刻》，半导体历史，YouTube视频，2009年1月30日，https://www.youtube.com/watch?v=OKfdHZCEfmY。