相关公司的关键决策者表示，z.府在做此决定的时候没有考虑太多的政治因素。
唐·克拉克（DonClark）和格伦·辛普森（GlennSimpson），《硅谷集团的出售让荷兰的反对者担心外国竞争》（OpponentsofSVGSaletoDutchWorryAboutForeignCompetition），《华尔街日报》，2001年4月26日。采访光刻行业专家，2021年。采访理查德·范·阿塔，2021年。采访美国商务部前*员，2021年。尽管长期拖延和巨额成本超支，但是EUV伙伴关系仍缓慢取得进展。尼康和佳能被排除在美国国家实验室的研究之外，决定不制造自己的EUV工具，使阿斯麦成为世界上唯一的生产商。与此同时，2001年，阿斯麦收购了美国最后一家大型光刻机公司硅谷集团。当时，硅谷集团已经远远落后于行业领先者，但人们再次质疑该交易是否符合美国的安全利益。在DARPA和美国国防部（数十年来一直在资助光刻行业）内部，一些*员反对这次交易。美国国会也提出了担忧，三位参议员写信给乔治·W.布什总统，称“阿斯麦最终将拥有美国z.府的所有EUV光刻技术”。
这是不可否认的事实，但美国的实力正处于巅峰，华盛顿的大多数人认为全球化是一件好事。美国z.府的主要信念是，通过鼓励俄罗斯或中国等大国专注于获取财富而非地缘政治力量来扩大贸易和供应链联系将促进“和平”。声称美国光刻业的衰落将危及安全的说法被认为与全球化和互联互通的新时代格格不入。与此同时，芯片行业只是想尽可能高效地制造半导体，在没有大型光刻机公司的情况下，除了押注于阿斯麦，美国还有什么选择？
唐·克拉克和格伦·辛普森，《硅谷集团出售给荷兰的反对者担心外国竞争》（OpponentsofSVGSaletoDutchWorryAboutForeignCompetition）。英特尔和其他大型芯片制造商认为，将硅谷集团出售给阿斯麦对于开发EUV光刻机至关重要，因此对计算的未来至关重要。2001年，英特尔新任首席执行官克雷格·巴雷特表示：“如果二者不合并，美国开发新工具的过程将被推迟。”冷战结束后，刚刚上台的布什z.府希望放松对所有商品的技术出口管制，直接用于军事用途的商品除外，z.府将该战略描述为“围绕最高敏感度的技术建造高墙”，但EUV光刻技术没有被列入其中。
采访约翰·泰勒，2021年。因此，下一代EUV光刻机将主要在国外组装，尽管一些部件仍在康涅狄格州的一个工厂中
